Générateur de plasma radio-fréquence Paramount Plus

Contrôle multi-niveaux des impulsions et de la forme d'onde des impulsions pour les applications plasmatiques émergentes Bénéficiez de l'ensemble de fonctions le plus complet disponible dans un produit RF pulsé. Le Paramount Plus offre une régulation RF précise, une manipulation sophistiquée des impulsions et une acquisition de données avancée. Conçu pour couvrir une gamme étendue d'énergie RF - fréquences de 1 à 60 MHz et niveaux de puissance de 1,5 à 15 kW - le Paramount Plus offre la répétabilité et la fiabilité dont vous avez besoin. Paramount® Plus Alimentations RF pulsées Avec l'impulsion multiniveau, le contrôle de la forme d'onde de l'impulsion et l'ensemble de fonctions le plus large de fonctionnalités disponibles dans un produit RF pulsé, la plateforme Paramount® Plus vous permet de repousser les limites de la technologie RF pulsée vous permet de repousser les limites de l'innovation en matière de processus et offre le meilleur rapport qualité-prix du marché et offre le meilleur rapport qualité-prix du marché. Excellente stabilité du plasma, régulation RF précise, manipulation sophistiquée des impulsions et acquisition de données l'acquisition de données avancée offrent une latitude extrême en matière de contrôle du plasma pour les nœuds de nouvelle génération. AVANTAGES POUR L'UTILISATEUR contrôle précis de la RF et des impulsions amélioration de la stabilité du plasma et de la répétabilité du processus réponse rapide aux changements de plasma flexibilité et adaptabilité aux nouvelles technologies de fabrication APPLICATIONS DES SEMI-CONDUCTEURS pVD pECVD gravure