Source de plasma à radicaux MAXstream

La ligne MAXstream™ d'Advanced Energy constitue la nouvelle génération de sources de plasma à distance pour le nettoyage des chambres. Le MAXstream est disponible en 3, 6, 8, 10 et 12 SLPM de débit NF3 pour optimiser le prix et la performance. Pour garantir une longue durée de vie de la chambre et une faible génération de particules, Advanced Energy apporte ses matériaux et sa technologie éprouvés et différenciés en matière de sources de plasma. La conception unique du noyau d'allumage double offre la meilleure fiabilité d'allumage du plasma de sa catégorie. Doté d'un allumage fiable et constant, le MAXstream RPS offre un fonctionnement plus régulier et moins de temps d'arrêt pour la maintenance du RPS. Le MAXstream RPS facilite la compatibilité avec les systèmes RPS traditionnels, ce qui simplifie la compatibilité de conception et permet des mises à niveau transparentes sur le terrain vers une nouvelle solution fiable et reproductible. - Cinq modèles : MAXstream 300 pour les applications à faible débit et MAXstream 600, 800, 1000, 1200 pour les applications à débit plus élevé - Le RPS très fiable maximise le temps de fonctionnement de l'outil - Possibilité d'intégration avec les unités RPS traditionnelles pour une mise à niveau facile de la conception vers des performances et une fiabilité accrues - Refroidissement amélioré des parois de la source de plasma pour réduire les dommages dus à la dilatation thermique et à l'érosion chimique - Surveillance et contrôle actifs de la puissance du plasma pour une maîtrise de la puissance à la pointe de l'industrie