Générateur de plasma radio-fréquence eVerest RF

Alors que l'industrie des semi-conducteurs s'accélère vers une nouvelle inflexion, le générateur RF eVerest™ répond au besoin de contrôle transformationnel du plasma. Ses impulsions multi-niveaux configurables permettent un timing de transition instantané ou défini par l'utilisateur. En outre, le réglage de fréquence à grande vitesse et à haute précision basé sur un modèle, avec une large plage de balayage de fréquence, offre une plus grande stabilité et un meilleur contrôle du processus. Ces capacités, auxquelles s'ajoutent une réponse plus rapide au point de consigne, un dépassement contrôlé au début des états d'impulsion et l'intelligence sophistiquée PowerInsight by Advanced Energy™ IoT, donnent les moyens d'innover en matière de processus pour le prochain nœud technologique. - Système de livraison RF complet, options multiples pour les solutions d'adaptation et synchronisation intelligente - Vitesse et contrôle au sein de profils d'impulsions multi-niveaux programmables - Réponse de sortie RF à grande vitesse et temps de montée/descente de l'état d'impulsion - Plage d'accord de fréquence jusqu'à ±10% - Stabilité dP/dZ intégrée - Écosystème PowerInsight by Advanced Energy™ IoT - Permet un développement de processus inédit pour des profils de dépôt et de gravure < 2 nm - Fournit un allumage fiable avec une stabilité RF indépendante de la longueur du câble - S'intègre de manière transparente dans n'importe quel système plasma - Augmente l'espace de traitement et élargit la fenêtre de stabilité - Soutenu par une assistance mondiale sur les produits et les applications à partir de centres de service locaux