Détection de la température par fibre optique pour les semi-conducteurs dans les applications de gravure et de dépôt
Le Luxtron® M-1100 d'Advanced Energy est la dernière plateforme de convertisseur de thermométrie FluorOptic® (FOT), dotée d'une source lumineuse avancée et d'une électronique améliorée à très faible bruit. Deux nouvelles formulations de phosphore brevetées, VioLuxTM et RubiLuxTM, ont été développées pour offrir une précision, une répétabilité et une stabilité de 0,5°C sur une plage étendue de -200 à 450°C
Plage de mesure de -200 à 450°C pour prendre en charge les processus de gravure avancés
L'électronique et les algorithmes avancés à faible bruit offrent une précision supérieure à 0,05°
Les capteurs AccuDisc™ permettent de séparer le capteur de la sonde, ce qui améliore la précision et la répétabilité
Une équipe expérimentée prend en charge le développement de sondes personnalisées pour les équipementiers
Taille compacte, sur rail DIN, pour minimiser l'encombrement lors de l'intégration dans des outils et des équipements
Immunisé contre les interférences électromagnétiques provenant de sources EMI, RF, haute tension et micro-ondes
Avantages
Mesure sans contact pour minimiser le décalage thermique
Facile à installer dans les équipements OEM
Caractéristiques
Large gamme de températures prises en charge
Faible niveau de bruit avec un taux de réponse rapide
5 canaux dans un seul convertisseur
Sorties de communication flexibles
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