Capteur de température à fibre optique pour les OEMs entre -100 et 330ºC
Les modules semi-conducteurs Luxtron à quatre canaux m924 et à deux canaux m922 d'Advanced Energy sont conçus pour la surveillance de la température des équipements de gravure et de fabrication de wafers de mandrins, chambres et autres dispositifs électrostatiques
-Composants de mélange et d'appariement
-Fonctionne avec les sondes fluoroptiques et les extensions à fibre optique de la marque Luxtron
-Les tables d'étalonnage intégrées correspondent aux sondes AE personnalisées pour des mesures de haute précision
-Précision jusqu'à ±0,05°C possible (en fonction de la sonde)
Vue d'ensemble
La solution OEM complète de la série Luxtron® m920 est construite à l'aide du module électronique avec deux cartes et des sondes. La carte principale contient des canaux de détection de température à fibre optique, une sortie numérique (RS232 ASCII et RS485 Modbus) et une connexion d'alimentation. La carte de sortie analogique fournit une sortie de 0 à 10 V ou 4 à 20 mA et est montée au-dessus de la carte principale. Un boîtier métallique est également disponible en option.
Le système de la série m920 utilise la technologie Fluoroptic®. La carte principale de la série m920 conditionne le signal de mesure des sondes fluoroptiques et rapporte une température calibrée au système de contrôle OEM.
Avantages
-Obtenir une haute précision et une plage de température élevée pour différents procédés de gravure et de fabrication de wafers
-Surveiller les conditions de rampe plus rapides avec une fréquence d'échantillonnage rapide
-Obtenez de meilleures mesures de température avec cette solution silencieuse
-Profitez d'une grande fiabilité pour de faibles taux de défaillance
-Le support Receive prend en charge l'intégration personnalisée et la conception de sondes dans le monde entier
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