Le module d'alignement des wafers Adenso WAM200/300 VAC aligne les substrats tels que les wafers ronds et angulaires, les substrats transparents et les supports, au centre et dans une position angulaire. Le WAM est parfaitement combinable avec le WaferHandling.Robot Adenso WHR - le robot reçoit automatiquement les données de correction du WaferAlignment.Module par l'intermédiaire d'une interface.
Vos avantages
Encombrement : gain de place grâce à l'intégration directe dans les systèmes en grappe
Flexible : différentes tailles et géométries de substrats sont possibles
Productif : alignement rapide
Précision : grâce à l'unité d'entraînement direct Adenso DDU
Réduction des coûts : économies sur les coûts d'investissement et d'exploitation
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