Équipement de manutention robotisé WHM

intégrépour wafers

Le module WHM WaferHandling développé par Adenso avec une chambre à vide centrale et un robot WHR WaferHandling intégré est optimisé pour la manipulation de substrats/transporteurs dans le vide poussé. Notre module WHM WaferHandling fonctionne de manière totalement indépendante, est peu encombrant et peut être facilement connecté à vos stations de traitement en cours, déjà complètement fonctionnelles - votre outil Vacuum.Cluster est prêt ! Robot de manipulation des wafers WHR Chambre à vide avec 4 à 8 ports LLM Modules.de.verrouillage.de.la.charge PORTEUSE.FURTIVE WAM Modules.d'alignement.des.wafers FLP FOUP300 VAC.LOADPORT Le robot Adenso WHR WaferHandling.Robot est le cœur de notre plateforme modulaire VAC.ROBOTICS. L'Adenso.WHR effectue des tâches de manipulation de substrats sensibles et de grande taille en robotique sous vide (VacBot industriel) et est optimisé pour une capacité de charge maximale et de grandes portées. La géométrie simple du bras permet d'utiliser de petits robinets-vannes et des zones de rotation de manipulation compactes. Vos avantages en un coup d'œil PORTÉE : distances de déplacement les plus grandes - flexibilité maximale CHARGE : Capacité de chargement maximale - choix illimité de substrats VANNE : Cinématique intelligente - vanne à guillotine la plus petite EMPREINTE : Cinématique à faible encombrement - espace d'installation réduit COMPLEXITÉ : Avec Adenso, restez simple - économisez de l'espace et de l'argent !