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Systèmes de positionnement pour manutention de wafers
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Répétabilité: 1,5 µm - 3,5 µm
Charge: 663 g
Course: 40 mm
... pas dans les trois directions latérales - Répétabilité jusqu'à 1,5 µm Le système de positionnement XYZ est un système de positionnement orienté cartésien composé de ...
Répétabilité: 2,3 µm - 4,5 µm
Charge: 4,5 kg
Course: 50 µm - 50 µm
... MP130-3 Système de positionnement XYZ miniature, cartésien Personnalisable : - Précision de l'ordre du µm grâce à la rigidité élevée - dynamique élevée à des vitesses allant jusqu'à 30 mm/s - Charge ...
Répétabilité: 5, 10 µm
Charge: 4 kg - 25 kg
Vitesse: 0,1 m/s - 10 m/s
... dynamique encore plus élevée. Avec un support intégré pour un alignement correct, le module permet un contrôle supplémentaire de la planéité des wafers, par rapport aux têtes d'équipement, au moyen de ...
Répétabilité: 5 µm
Charge: 30 kg
Course: 300 mm
... Les platines XY à cadre ouvert sont conçues avec un profil bas pour une large gamme de positionnement automatisé et précis dans les applications basées sur le microscope. Le mécanisme d'entraînement est ...
Répétabilité: 1,5, 5,5 µm
Course: 76 mm
Vitesse: 50 mm/s
... Maximisation du rendement dans un espace de construction aussi réduit que possible Ce système de positionnement de haute précision a été spécialement conçu comme un filtre de polarisation complémentaire ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Répétabilité: 1,5, 2,5 µm
Course: 50, 150 mm
Vitesse: 25 mm/s
... d'exposition aux UV | Système de positionnement de haute précision pour l'exposition des plaquettes dans une atmosphère d'azote sec Assemblages de précision 786001:002.26 Alignement XY thêta des masques ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Répétabilité: 1,5, 2,5 µm
... environnement extrêmement sec - Développé spécifiquement pour maximiser le rendement et la résolution des systèmes de gaufrage pas à pas - Positionnement simultané des lentilles les unes par rapport ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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