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Systèmes de nano-positionnement compacts
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Répétabilité: 50 nm
Course: 17, 102, 62 mm
... du système complet peuvent être plus importantes pour différentes poses. Pour plus d'informations, voir le modèle CAO dans la zone de téléchargement. La répétabilité est mesurée à environ 20 mm au-dessus de la plaque ...
... mm - résolution de 0,1 nm - système de positionnement et de mesure 3D de la plus haute précision - systèmes de sondage, par exemple capteurs de focalisation laser, microscopes à force ...
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