Platines de positionnement pour manutention de wafers

Vitesse: 100, 15 mm/s
Charge: 750 kg

... personnalisé, ouverture lumineuse 460mm Offre une précision de mouvement constante et fiable dans une platine compacte et robuste. Résolution de positionnement ultrafine et capacité de charge utile suffisante. ...

Course: 1 mm - 40 mm
Vitesse: 1 mm/s - 200 mm/s
Répétabilité: 0,3 µm - 5 µm

... Axe linéaire UHV à grande vitesse Application : Applications de numérisation rapide et à haute résolution Avantages : Positionnement rapide en UHV, également à la verticale Caractéristiques : Résolution exceptionnelle, ...

Course: 1 mm - 100 mm
Vitesse: 1 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,4 µm - 5 µm

... LT300 Etage linéaire précis à forte charge Application : Platine de transport, platine de balayage pour charges élevées Avantage : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : vis ...

Course: 1 mm - 300 mm
Vitesse: 1 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Platine linéaire nanométrique Application : balayage Avantage : positionnement nanométrique, également à la verticale Caractéristiques : positionnement avec une résolution extrême ...

Course: 1 mm - 185 mm
Vitesse: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Répétabilité: 0,4 µm - 5 µm

... LA95 - Application : étape de transport, étape de numérisation - Avantages : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec - Caractéristiques : vis à billes avec lubrification sèche ou vis à billes avec lubrification ...

Course: 1 mm - 10 mm
Vitesse: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,2 µm - 5 µm

... haute résolution Application : micro-scène polyvalente Avantage : pour le balayage à haute résolution Caractéristiques : positionnement à très haute résolution - Vide : toutes les plages de pression HV /UHV jusqu'à ...

Course: 1 mm - 50 mm
Vitesse: 1 mm/s - 50 mm/s
Répétabilité: 0,3 µm - 5 µm

... Différentes variantes de moteurs : Nanomotion ou moteur piézo - Combinable avec un système de positionnement XYZ (par exemple MT105) - Combinable avec des platines rotatives (par exemple DT105) pour les ...

Course: 1 mm - 100 mm
Vitesse: 1 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,4 µm - 5 µm

... KDT300 Platine xy stable à forte charge Application : étage de transport, étage de balayage pour des charges élevées Avantage : - durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : durée de vie élevée malgré ...

Course: 1 mm - 16 mm
Vitesse: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Répétabilité: 1 µm - 5 µm

... HT160 Etage de levage vertical précis pour charges élevées Application : étage de levage à vide Avantages : rigidité et charge élevées Caractéristiques : cale avec vis à billes - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 ...

Course: 1 mm - 16 mm
Vitesse: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Répétabilité: 0,7 µm - 5 µm

... HDT255 Table élévatrice à grande ouverture de charge Application : plateau élévateur à vide Avantages : - haute rigidité et charge, ouverture Caractéristiques : table à coins avec ouverture - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV ...

Course: 1 mm - 25 mm
Vitesse: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Répétabilité: 0,3 µm - 5 µm

... HT240 Etage de levage vertical précis pour charges élevées Application : Plate-forme de levage à vide Avantages : rigidité et charge élevées Caractéristiques : cale avec vis à billes - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à ...

Course: 10 mm
Vitesse: 200 mm/s

... Les platines XY-Rotary avec moteurs linéaires et moteurs à couple direct conçus avec un profil bas pour la manipulation de plaquettes et de nombreuses autres applications de positionnement précis automatisé ...

Course: 200 mm
Vitesse: 400, 800 mm/s

Course: 280 mm
Vitesse: 400, 800 mm/s

Course: 350 mm
Vitesse: 800, 400 mm/s

Course: 200 mm
Vitesse: 100 m/s
Répétabilité: 2 µm

... Combinaison d'étages XY à cadre ouvert entraînés par vis à billes avec des étages MLVT Lift et une table RTLA rotative compacte à engrenages à vis sans fin - Course XY de 100 mm à 300 mm - Hauteur de levage 12 mm à 25 mm - Rotation illimitée ...