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Un ellipsomètre spectroscopique est un instrument optique utilisé pour mesurer avec précision l'épaisseur des couches minces ou caractériser les propriétés physiques et optiques d'un échantillon.
ApplicationsLes ellipsomètres spectroscopiques ont connu un important développement grâce à l'évolution de l'informatique qui est nécessaire au traitement des mesures.
On les retrouve dans l'industrie optique, microélectronique ou la fabrication des cellules photovoltaïques.
Un ellipsomètre spectroscopique utilise une source lumineuse polychromatique (UV, visible, IR).
Un faisceau est polarisé puis réfléchi par un échantillon à surface plane qui va modifier l'état de polarisation du faisceau.
Le faisceau réfléchi passe dans un analyseur rotatif et est envoyé dans un spectromètre.
La mesure sur un intervalle de spectre et pour des angles d'incidence différents permet d'obtenir un grand nombre de mesures que l'on compare informatiquement à des modèles pour en extraire les informations recherchées sur l'échantillon.
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